SEM掃描電鏡是一種用于放大并觀察物體表面結(jié)構的電子光學儀器。掃描電鏡由鏡筒、電子信號的收集和處理系統(tǒng)、電子信號的顯示和記錄系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)等組成，具有放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像分辨率高和景深大等特點。應用于生物、醫(yī)學、材料和化學等領域。
 

　　SEM掃描電鏡在使用時應需要以下事項：
 

　　1、將試樣置于載物臺墊片，調(diào)整粗/微調(diào)旋鈕進行調(diào)焦，直到觀察到的圖像清晰為止；
 

　　2、調(diào)整載物臺位置，找到要觀察的視野，進行分析；
 

　　3、掃描電鏡調(diào)焦時注意不要使物鏡碰到試樣，以免劃傷物鏡；
 

　　4、當載物臺墊片圓孔中心的位置遠離物鏡中心位置時不要切換物鏡，以免劃傷物鏡；
 

　　5、在做切換動作時，動作要輕，要到位，關機時要將亮度調(diào)到小；
 

　　6、亮度調(diào)整切忌忽大忽小，也不要過亮，影響燈泡的使用壽命，同時也有損視力；
 

　　7、非專業(yè)人員不要調(diào)整顯微鏡照明系統(tǒng)(燈絲位置燈)，以免影響成像質(zhì)量；
 

　　8、更換鹵素燈時要注意高溫，以免灼傷；注意不要用手直接接觸鹵素燈的玻璃體；
 

　　9、設備不使用時及時關掉電源。
 

　　SEM掃描電鏡可通過改變物鏡的透鏡系統(tǒng)人們可以直接放大物鏡的焦點的像，由此人們可以獲得電子衍射像，使用這個像可以分析樣本的晶體結(jié)構，在這種掃描電鏡中，圖像細節(jié)的對比度是由樣品的原子對電子束的散射形成的，由于電子需要穿過樣本，因此樣本必須薄。樣本的厚度可以從數(shù)納米到數(shù)微米不等。
 

　　原子量越高、電壓越低，樣本就必須越薄。樣品較薄或密度較低的部分，電子束散射較少，這樣就有較多的電子通過物鏡光欄，參與成像，在圖像中顯得較亮。反之，樣品中較厚或較密的部分，在圖像中則顯得較暗。如果樣品太厚或過密，則像的對比度就會惡化，甚至會因吸收電子束的能量而被損傷或破壞。