臺(tái)式掃描電鏡的測(cè)量過(guò)程分為兩個(gè)基本步驟：掃描和探測(cè)。在掃描過(guò)程中，電子束按照一定的模式在樣品表面上進(jìn)行掃描，掃描線(xiàn)圈在水平和垂直方向上控制電子束的位置。在探測(cè)過(guò)程中，樣品表面與電子束相互作用，產(chǎn)生多種種類(lèi)的信號(hào)。常見(jiàn)的信號(hào)包括：次級(jí)電子(Secondary Electrons,SE)、散射電子(Back scattered Electrons,BSE)、熒光X射線(xiàn)(X-Ray Fluorescence,XRF)和樣品電流等。
 

　　次級(jí)電子是由電子束與樣品表面原子的相互作用所產(chǎn)生的。這些電子在樣品表面附近發(fā)生幾次散射后，離開(kāi)樣品，并被探測(cè)器所探測(cè)到。次級(jí)電子的信號(hào)可以用于獲得樣品的表面形貌信息，因?yàn)榇渭?jí)電子的發(fā)射與樣品表面的幾何形貌有關(guān)。
 

　　散射電子是由電子束與樣品表面原子的相互作用所產(chǎn)生的。這些電子經(jīng)過(guò)一定的散射過(guò)程后，返回到探測(cè)器，并形成散射電子圖像。散射電子的信號(hào)可以用于獲得樣品的組成信息，因?yàn)樯⑸潆娮邮艿綐悠吩拥暮穗姾珊驮有驍?shù)的影響，從而可以得到元素的分布情況。
 

　　熒光X射線(xiàn)是由電子束與樣品原子間的相互作用所產(chǎn)生的。當(dāng)電子束與樣品原子相互作用時(shí)，被激發(fā)的內(nèi)層電子會(huì)躍遷至低能級(jí)，釋放出X射線(xiàn)。這些X射線(xiàn)可以用于獲得樣品的元素組成信息和分布情況。
 

　　樣品電流是由電子束與樣品之間的相互作用所產(chǎn)生的。電子束在樣品表面上產(chǎn)生電子影響時(shí)，會(huì)引起電子的發(fā)射，從而產(chǎn)生一個(gè)電流。這個(gè)電流可以用于獲得樣品的導(dǎo)電性和電子能量分布等信息。
 

　　臺(tái)式掃描電鏡常用于以下領(lǐng)域：
 

　　1.觀(guān)察和分析各種材料的微觀(guān)形貌、表面形貌以及顆粒形態(tài)等，可用于制備材料的表征、材料缺陷分析等。
 

　　2.對(duì)生物樣品進(jìn)行高清晰度成像，觀(guān)察生物細(xì)胞、細(xì)胞器、組織結(jié)構(gòu)等微觀(guān)結(jié)構(gòu)，用于生物學(xué)研究、醫(yī)學(xué)研究等領(lǐng)域。
 

　　3.具有高分辨率和高增倍倍率的特點(diǎn)，可觀(guān)察納米顆粒、納米結(jié)構(gòu)等微觀(guān)顆粒的外觀(guān)和形貌，有助于納米材料研究等領(lǐng)域。
 

　　4.可以用于觀(guān)察和分析環(huán)境污染物、顆粒物等相關(guān)樣品的形貌和組成，可以幫助了解污染源、污染程度以及環(huán)境影響等方面的問(wèn)題。
 

　　5.體積小、使用方便，它可以被廣泛應(yīng)用于學(xué)校教學(xué)和科普活動(dòng)中，幫助學(xué)生和大眾更直觀(guān)地了解微觀(guān)世界。